Područja primjene i vrste maski

- Nov 21, 2018-

Osim primjene u proizvodnji čipova, fotomask je također široko korišten u LCD, PCB i drugim poljima. Postoje četiri vrste uobičajenih fotomasaka: hrom, suvo, reljefno i tečno. Sastoji se od dva dijela, podloge i neprozirnog materijala. Supstrati su obično kvarcno staklo visoke čistoće, niske reflektivnosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja. Neprozirni sloj ploče od hroma se nanosi ispod stakla prskanjem debljine oko 0.1um. Tvrdoća hroma je nešto manja od stakla, iako se ne može lako oštetiti, ali se može oštetiti staklom. Fotomask koji se koristi u proizvodnji čipova je hromirana ploča sa visokom osjetljivošću. Obložen lateksom na suvoj ploči ima malu tvrdoću i lako se apsorbira prašinu. Međutim, suva ploča ima i premaze i suhe ploče ultrafine čestice, koje se mogu koristiti u proizvodnji čipova. (Usput, Film se obično naziva filmom. Negativni film ili film znači da je svjetlo osjetljivo na sitne kristalne čestice).

Steper se koristi u karakterizaciji, koja uključuje elektronski snop i laser. Laserski snop je direktno prikazan na 4-9 "staklenoj ploči obloženoj slojem hroma. Polazna točka ruba je 5mm. U poređenju sa elektronskim snopom, njen luk je realniji, a njegova širina i razmak između linija su manji. Poznat je i kao srednja maska, koja se pretvara u rešetku kao jedinica.Odnos se smanjuje na master maks steper ponavljanjem, a primenjuje se na aktuelnu ekspoziciju kao radna maska.